真空度可能是最關鍵的考慮因素。真空水平會影響其他每個因素,通常,您需要一個在您的工作壓力范圍內進行測量的儀表。典型的分類和范圍包括:
?。?)粗真空:從高于大氣壓到1 mbar
?。?)中真空:1 mbar至10-3 mbar
?。?)高真空:10-3 mbar至10-9 mbar
需要不同的儀表技術來實現不同的真空壓力范圍。根據目標真空水平,可能需要混合儀表才能在整個抽氣范圍內進行測量。
·粗/中真空真空壓力表——有很多選擇,并且有直接和間接的選擇,了解工藝要求對于選擇正確的真空真空壓力表至關重要。
·高真空真空壓力表和超高真空真空壓力表——熱陰極或冷陰極型真空真空壓力表(兩者都是間接真空真空壓力表)占主導地位的區域選擇略少。
真空度可能是最關鍵的考慮因素。真空水平會影響其他每個因素,通常,您需要一個在您的工作壓力范圍內進行測量的儀表。典型的分類和范圍包括:
?。?)通常,在粗真空到中真空下工作的真空真空壓力表比在中到超高真空下工作的真空真空壓力表具有更高的精度。直接儀表比間接儀表更準確。直接壓力計的精度通常在0.2%到2%之間,其精度會隨著壓力下降而降低。間接儀表通常在10%到30%之間變化,具體取決于儀表技術,但在其范圍內具有一致的精度。
?。?)因此,根據您打算使用真空壓力表的目的,您需要選擇正確的真空壓力表來覆蓋您的工作壓力和所需的精度。