隨著壓力傳感器市場的擴大和該技術應用的增加,您必然會處理各種不同的壓力傳感器。無論您是壓力傳感器新手還是多年來一直使用壓力傳感器,您對與壓力傳感器選擇相關的一些現代技術和原則有多大信心?
今天將理想地涵蓋您可能會詢問的有關壓力傳感器的大部分術語和問題。而且,我肯定會提供類似術語之間的簡單比較,了解每個原理的優缺點,以便您為您的應用選擇最合適的壓力傳感器。
壓力傳感器的工作原理是信任施加壓力的物理動作,然后以電子格式測量由此產生的比例修正。這種數字格式通常包括電容的調整,或應變計或壓電元件的歐姆電阻的變化,這些變化與施加壓力時的變形量成正比。
一、應變式壓力傳感器
在應變計型壓力硅中,傳感單元或箔應變計被組織為惠斯通電橋。產生的信號在此之后被提升和調節,以提供所采用壓力的適當的傳感器電壓或傳感器電流輸出代理。
應變片的種類很多,通??梢愿爬橐韵缕贩N:
?。?)細線應變儀(也稱為金屬線型應變儀)
?。?)金屬箔應變片
?。?)薄膜應變計(也稱金屬薄膜應變計)
?。?)半導體應變計(也稱為固態)
?。?)擴散硅半導體應變儀(也稱為擴散硅壓電電阻)
?。?)薄膜半導體應變儀
無論是機械應變計還是基于電容和電感的應變計,它們都通過使用以下技術構建在基板上的惠斯通電橋正常工作:
·粘合
·粘貼
·涂層
·印刷
·濺射(真空沉積)
·光刻每次蝕刻
·化學沉淀物
二、應變式壓力傳感器的優勢
·可用于測量靜態和動態應變
·中型或小型,重量輕
·成本相對較低,種類繁多,易于選擇和使用
三、應變式壓力傳感器的缺點
·不能測量低于1000pa的低壓
·精度沒有要求的那么高(通常為1%)
·溫度漂移總是需要補償